不同籽晶对多晶硅晶体生长的影响

摘要：

通过在坩埚底部铺设籽晶来控制形核的同步性,获得均一等大的硅晶粒,实验采用铺设硅粉、颗粒料、碎硅片三种籽晶来诱导硅晶体生长,结果表明硅粉籽晶生长硅晶体晶粒均匀性最好.采用硅粉籽晶所生产硅锭效率比碎硅片籽晶高0.3％.

关键词：硅晶体、籽晶、位错

所属期刊栏目：43

分类号：TQ174.75

资助基金：徐州工业职业技术学院项目XGY201307

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：2743-2746