退火温度对Li∶ZnO薄膜紫外发射性能影响

摘要：

利用溶胶-凝胶法在Si衬底上制备不同退火温度的Li∶ZnO薄膜.借助X射线衍射(XRD)、X射线光电子谱(XPS)、扫描电镜(SEM)和光致发光(PL)谱研究样品结晶质量、成分、表面形貌和发光特性.结果表明:所有样品均高度c轴择优取向生长;随退火温度升高,样品结晶性变好,紫外发射增强.LiOH在退火温度超过700℃分解,使Li、H进入到ZnO晶格,在ZnO薄膜中形成LiZn-H复合缺陷,这种复合缺陷使H被困在ZnO薄膜中,形成H施主,显著提高ZnO薄膜紫外发光强度,抑制ZnO薄膜绿光发射.

关键词：Li∶ZnO、光致发光、溶胶-凝胶、H施主

所属期刊栏目：43

分类号：O472.3;O482.31(半导体物理学)

资助基金：黑龙江省自然科学基金E201341;牡丹江市科技攻关计划G2013e1233;牡丹江师范学院科学技术研究计划QC200904

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2329-2334