ZnO单晶的生长表面形貌及形成机制研究

摘要：

采用石墨辅助化学气相传输法生长了ZnO单晶体.利用XRD、金相显微镜和扫描电镜等对晶体结构和表面形貌进行研究,发现其表面由大量六边形台阶堆垛而成,单个晶粒呈六方伞状结构并始终显露(001)面.同一平面内台阶的大小、陡峭程度存在差异,台阶之间为平行走向.通过形成机制分析,获得生长体系的过饱和度σv约为7％,发现生长表面的腐蚀形貌为六边形平底蚀坑,确定在化学气相法中ZnO单晶呈台阶生长的主要条件是螺旋位错.

关键词：氧化锌单晶、化学气相法、表面形貌、生长机制

所属期刊栏目：43

分类号：O781(晶体生长)

资助基金：中国博士后科学基金2013M542294;四川省科技厅应用基础项目2014JY0133

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1668-1671