一种热量补偿结构在多晶硅定向凝固设备中的应用研究

摘要：

定向凝固(DS)是冶金法提纯太阳能级多晶硅的重要工艺环节.以保证垂直的晶体生长方向,维持良好的固液相界面形态为目的,设计了一种带有热量补偿结构的多晶硅定向凝固设备,用以替代常规设备的侧壁加热装置,在满足工艺要求的同时达到节能减排、降低成本的目标.进行理论分析和数值模拟来阐述原理与设计结构,对优化凝固工艺、设备结构、控制方法提供了理论依据与技术支持.

关键词：多晶硅、定向凝固、固液相界面、热量补偿、数值模拟

所属期刊栏目：43

分类号：O78(晶体生长)

资助基金：福建省高校产学合作科技重大项目2012H6023

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1626-1634