大尺寸电磁加热的氮化物MOCVD反应室温度场的仿真与优化

摘要：

本文通过对电磁加热八英寸晶片的立式氮化物MOCVD反应室建立数学模型,利用有限元法,对传统的加热结构进行了优化.为提高晶片温度分布的均匀性,本文提出了矩形槽和圆环段形槽两种不同槽结构的基座,通过对这两种槽结构基座的优化分析发现,与传统用的基座相比,这两种槽结构的基座改变了传统基座中的传热方式和不同方向的传热速率,从而提高了晶片温度分布的均匀性,这有利于提高薄膜生长的质量.

关键词：MOCVD、有限元、均匀性

所属期刊栏目：42

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金61376076;湖南省教育厅资助项目12C0108

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2401-2405