升华法生长氮化铝晶体的热场分析

摘要：

本文使用有限元法模拟氮化铝晶体生长系统的温度场,分析了坩埚的位置、感应线圈的匝间距以及原料与晶体之间的距离对温度场分布的影响.结果表明:坩埚位置主要影响系统中最高温度的位置及温度梯度的大小原料与结晶体之间的距离仅对温度梯度有影响;感应线圈的匝间距则影响加热效率的高低.通过合理优化以上三个条件,可以获得适宜于高品质氮化铝晶体快速制备的理想热场.

关键词：升华、温度场、氮化铝晶体、有限元

所属期刊栏目：42

分类号：O782;TN304.2(晶体生长)

资助基金：国家自然科学基金重点项目61136001;973计划前期研究专项2010CB635115;深圳市科技计划项目20120821110533437

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2275-2279