硅片切割废砂浆中去除硅和二氧化硅工艺的研究

摘要：

本文主要研究用碱洗法去除硅片切割废砂浆中硅和二氧化硅等杂质,以获得高纯度的碳化硅.研究了碱液的种类、碱液的浓度、碱液与总硅的配比、反应时间和反应温度各因素对除硅效果的影响,通过正交实验得出了最优的工艺条件.

关键词：切割废砂浆、硅、二氧化硅、碱洗法、除杂

所属期刊栏目：42

分类号：TQ174.1

资助基金：青海省西宁市科技重点新产品项目2011-G-18

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1435-1439