Y掺杂浓度梯度对BST薄膜结构及介电性能的影响

摘要：

用改进的溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备6层钇(Y)掺杂浓度分别为1％/1.1％/1.2％/1.3％/1.4％/1.5％的梯度Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜(1-1.5YBST)和掺杂浓度分别为1％/1.3％/1.6％/1.9％/2.2％/2.5％的梯度Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜(1-2.5YBST),研究掺杂浓度梯度对薄膜结构及介电性能的影响.X射线衍射(XRD)表明,两薄膜主要沿(110)晶面生长,为立方钙钛矿结构,比6层Y掺杂浓度均为1％的BST薄膜(YBST)的衍射峰强度及晶化减弱,但掺杂浓度梯度较大的1-2.5YBST对应的衍射强度和晶化较强.原子力显微镜(AFM)表明,1-2.5YBST具有更光滑的形貌.两薄膜比YBST具有高的电容、低的介电损耗、高的调谐率,而1-2.5YBST具有更优异的综合介电性能:零偏压下的电容为17.45 pF(介电常数127)、介电损耗为0.82％及最大调谐率为34.6％、优质因子为42.

关键词：掺杂浓度梯度、钛酸锶钡薄膜、溶胶-凝胶法、介电性能

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分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金51172034;中央高校基本科研业务费专项资金ZYGX2009X018;电子科技大学中青年学术带头人培养基金Y02018023601053

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：487-490