硅单晶中空位团形成能的分子动力学模拟
为了获得硅单晶中空位团的形成能以及有关因素的影响规律,采用分子动力学方法进行了模拟计算和分析,揭示了模型体系大小、空位团构型和空位数目对空位团形成能的影响规律和机理.结果表明:总体上,模型体系大小和空位团构型对空位团形成能的影响不大;3 ×3 ×3模型更适合于硅单晶空位形成能的计算和分析;当空位数目≤5时,最小空位团形成能随空位数目增大而线性增加;空位团形成能实质上主要取决于所需破坏的Si-Si键数目及键能.
硅单晶、形成能、空位团、分子动力学
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O77(晶体缺陷)
高等学校博士学科点专项科研基金200804220021
2016-10-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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