超声辅助线锯切割SiC单晶实验研究

摘要：

针对单晶SiC切割过程切割效率低,加工表面粗糙度和表面不平度差以及线锯磨损和断裂严重等问题,提出采用线锯横向施加超声振动的方法切割单晶SiC.通过实验对比研究了普通切割与超声辅助切割两种切割工艺,结果表明:与普通切割相比,超声辅助切割单晶SiC,锯切力减小37％～52％,且减小趋势随工件进给速度的增大更明显；切片表面粗糙度降幅约为26％～55％,晶片表面形貌均匀,无划痕,明显优于普通切割方法所获得的表面；线锯磨损降低约近40％；切割效率提高近56％.

关键词：SiC单晶、超声辅助线锯切割、表面粗糙度

所属期刊栏目：41

分类号：O78(晶体生长)

资助基金：国家自然科学基金51175420;陕西省科技攻关基金2010k09-01;陕西省教育厅基金11JK0849,11JS074、12JK0668;宝鸡文理学院院级重点项目ZK11164

在线出版日期：2013-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1076-1081