脉冲时间间隔对激光烧蚀Si粒子密度分布的影响

摘要：

采用Monte Carlo方法,对脉冲激光烧蚀所产生的烧蚀粒子在环境气体中的输运过程进行了数值模拟.研究了不同脉冲时间间隔与交叠区位置振荡幅度之间的关系,结果表明脉冲时间间隔影响了交叠区的振荡强弱,随着脉冲时间间隔的增加,交叠区的振荡幅度减小,脉冲时间间隔为10 μs时达到最小值,而后开始增大.所得结果为进一步研究烧蚀粒子在环境气体中的输运动力学过程提供了理论依据.

关键词：脉冲激光烧蚀、Monte Carlo模拟、纳米Si晶粒、交叠区

所属期刊栏目：41

分类号：O78(晶体生长)

资助基金：国家重点基础研究发展计划9732011CB612305;国家自然科学基金10774036;河北省自然科学基金E2011201134,E2012201035;河北省光电信息材料重点实验室资助的课题

在线出版日期：2013-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1049-1052