太阳电池窗口层材料Sc掺杂ZnO薄膜的抗腐蚀性研究

摘要：

用于太阳电池窗口层的材料必须具有好的耐蚀性.利用射频磁控溅射的方法分别在300℃、350℃、400℃、450℃的沉积温度下制备透明导电Sc掺杂ZnO薄膜(SZO).用X射线衍射仪对样品的结构进行表征.结果表明,所有SZO薄膜均为六角纤锌矿结构,在(002)衍射峰位上相对于纯ZnO粉末有微小的偏移.用动电位扫描极化曲线和交流阻抗谱表征SZO薄膜的耐腐蚀性能,研究结果表明随沉积温度的升高,SZO薄膜的耐腐蚀性增强.在可见光范围内SZO薄膜透过率达85％以上,经3.5％的NaCl溶液腐蚀24h后薄膜透过率仍在80％以上.

关键词：太阳电池、掺杂ZnO薄膜、抗腐蚀性能、透过率

所属期刊栏目：40

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：上海市教育委员会科研创新项目09 YZ23

在线出版日期：2012-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：887-891,897