溅射功率对铝铬共掺杂氧化锌透明导电薄膜特性的影响

摘要：

室温下,利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了铝铬共掺杂氧化锌薄膜,研究了溅射功率(55-130 W)对薄膜结构、残余应力、表面形貌及其光电性能的影响.结果表明,ZnO(002)衍射峰的强度随着溅射功率的增大而增强,晶体结构得以改善.晶格常数、压应力和电阻率均随着溅射功率的增大而减小.当溅射功率为130 W时,制备的ZnO:Al,Q薄膜的最低电阻率可达1.09×lO-3Ω·em.功率由55 W增大到130 W时,光学带隙由3.39 eV增大到3.45 eV.紫外-可见透射光谱表明,所有薄膜在可见光范围内平均透过率均超过89%.

关键词：溅射功率、磁控溅射、ZnO:Al、Cr薄膜

所属期刊栏目：40

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：The project supported by Shandong Province Natural Science FoundationZR2009GQ011

在线出版日期：2011-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：727-730,736