工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响

摘要：

本文系统研究了沉积温度、压力、Zn/H2S、以及衬底表面粗糙度对起拱的影响.实验表明,适当的提高沉积温度(650 ℃)和降低沉积压力(1.5×104 Pa)有利于抑制沉积起拱;当Zn/H2S<1时起拱减弱,但透过率下降,可在沉积的初期采用低的Zn/H2S抑制起拱;由于表面阴影和钉扎效应,相对粗糙的衬底表面有更好的抑制起拱效果.

关键词：起拱、沉积温度、沉积压力、衬底表面粗糙度

所属期刊栏目：39

分类号：O77(晶体缺陷)

资助基金：军工配套项目

在线出版日期：2011-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1596-1600