Fe/Si多层膜亚层厚度比对β-FeSi2薄膜结构和表面形貌的影响

摘要：

采用射频磁控溅射方法,在Si(111)和石英衬底上制备了Fe/Si亚层厚度比不同的多层膜.多层膜的总厚度为252 nm,Fe/Si亚层厚度比分别为1 nm/3.2 nm、2 nm/6.4 nm和20 nm/64 nm.在850 ℃, Ar气气氛中退火2 h后,Si衬底上的多层膜完全生成了β-FeSi2相.但石英衬底上同样Fe/Si亚层厚度比的多层膜除了生成β-FeSi2相,还生成了少量的ε-FeSi相.通过增加Si亚层的厚度至Fe/Si亚层厚度比为2 nm/7.0 nm,在石英衬底上也获得了单相的β-FeSi2薄膜, 其光学带隙为0.87 eV,表面均方根粗糙度为2.34 nm.

关键词：β-FeSi2薄膜、石英衬底、亚层厚度比、多层膜

所属期刊栏目：39

分类号：TB303;TB34(工程材料学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863资助项目2006AA03Z219

在线出版日期：2010-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：883-887