单晶硅制绒中影响金字塔结构因素的分析

摘要：

本文通过不同碱性溶液及添加不同活性剂制备出的具有不同金字塔结构的绒面,并探讨了影响金字塔成核的因素.采用扫描电镜和紫外-可见分光光度计对绒面的金字塔结构和反射特性进行了分析,结果表明腐蚀速率与金字塔尺寸成正比,金字塔结构影响绒面减反特性.最后对造成金字塔结构差异的原因和金字塔成核过程进行了分析.

关键词：单晶硅、表面制绒、腐蚀速率、成核与生长

所属期刊栏目：39

分类号：O649(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目KGCX2-YW-382

在线出版日期：2010-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：857-861