沉积温度对Zn0.95Co0.05O稀磁半导体薄膜结构与磁性的影响

摘要：

本文利用磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了Zn0.95Co0.05O薄膜,考察了沉积温度对Zn0.95Co0.05O样品的结构与磁性的影响.采用XRD、FESEM、XPS和SQUID等方法对样品的结构与磁性进行了表征与分析.XRD结果表明:Zn0.95Co0.05O薄膜样品为纤锌矿结构且具有(002)择优生长,不存在Co和其他杂质相.XPS数据证明:薄膜样品中的Co是以Co2+形式存在,并且Co2+占据ZnO晶格中的Zn原子位.磁滞回线表明:Zn0.95Co0.05O薄膜具有明显的室温铁磁性,随着沉积温度的升高,薄膜的铁磁性逐步减弱.

关键词：Zn0.95Co0.05O薄膜、沉积温度、磁控溅射、磁性

所属期刊栏目：39

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2010-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：465-469