SiC单晶片的取向研磨
优质晶体生长常常需要籽晶或衬底偏离常规结晶取向.为便于按任意偏向角度研磨晶片,本实验室设计并应用了晶片取向研磨夹具及相应的研磨工艺.本文介绍了该夹具和工艺的工作原理、技术要点以及对技术指标的鉴定情况.测试结果表明,研磨取向误差范围可控制在5%之内,研磨片厚度偏差小于5 μm、粗糙度Ra=0.12 μm.
SiC单晶片、取向研磨、偏向晶片
39
O786(晶体生长)
2010-06-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
365-368
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SiC单晶片、取向研磨、偏向晶片
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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