交替溅射法制备BaM铁氧体薄膜的特性研究

摘要：

以双靶射频溅射和交替沉积的方法制备了不同化学组成的BaM铁氧体薄膜.对所沉积的薄膜进行了两种不同方式的热处理.通过热处理后铁氧体薄膜的X射线衍射(XRD), 逆转换电子穆斯堡尔谱(CEMS)及原子力显微镜(AFM)等微观结构的分析和宏观磁性的测试,结果表明两步骤退火过程对于垂直取向结构的形成是有利的.

关键词：钡铁氧体薄膜、垂直各向异性、穆斯堡尔谱

所属期刊栏目：38

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金10174018;俄罗斯基础研究基金00-20-77889

在线出版日期：2010-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1380-1383,1393