高功率直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石厚膜中黑色缺陷的研究

摘要：

借助激光标记的方法,对采用高功率直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜中的黑色缺陷进行了定点表征.结合使用光学显微镜、激光扫描共焦显微镜、扫描电子显微镜、电子背散射衍射技术等多种表征方法,对同一样品的特定微观标记区域进行了多角度的分析.实验结果表明:金刚石膜内部的黑色缺陷是一种存在于晶界处的孔洞与质量较低的金刚石相的复合体,它的形成应与金刚石膜中某些晶界处的生长环境有关.

关键词：金刚石膜、黑色缺陷、激光标记、晶界

所属期刊栏目：38

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金10675017

在线出版日期：2010-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1349-1354