MgO(100)衬底上生长BaTi2O5薄膜及其性能研究

摘要：

利用脉冲激光沉积技术,在MgO(100)衬底上生长了BaTi2O5薄膜,探讨了沉积条件(衬底温度和氧分压)对薄膜结构的影响,并对其介电和光学性能进行了研究.结果表明:随衬底温度和氧分压的改变,BaTi2O5薄膜的物相和结晶取向逐渐变化;适宜的脉冲激光沉积工艺为衬底温度950~1000 K、氧分压12.5 Pa,在该条件下获得了b轴方向择优生长的BaTi2O5薄膜;该薄膜具有较高的居里温度(750 K),介电常数达2000,而且在可见光和红外波长范围内具有较高的透过率.

关键词：BaTi2O5薄膜、b轴取向、脉冲激光沉积、衬底温度、介电性能

所属期刊栏目：38

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金50802071;湖北省自然科学基金2008CDB248;武汉市青年科技晨光计划200850731386

在线出版日期：2009-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：920-923