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人造金刚石加热系统分析及其精密交流调功器设计

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建立了加热系统的数学模型,深入分析各类交流加热的特性及差别,指出恒功率加热方式温控效果最佳且与直流加热无明显区别.建立恒功率交流加热系统SABER仿真模型并深入分析系统构成特性,设计一个基于适当功率滤波和输出偏置的模拟PID控制器.仿真和实验结果表明,所设计交流调功器具有成本低、实时性强、适应性好、控制性能佳、温控精度高等特点,能较好地满足金刚石合成工艺的要求.

人造金刚石、六面顶压机、PID控制、交流调功器、SABER仿真

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TQ164

广西青年科学基金0007011;广西教育厅立项项目200808LX127

2009-07-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共8页

612-619

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人工晶体学报

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2009,38(3)

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