过渡层对纳米非晶碳薄膜场发射性能的影响

摘要：

采用微波等离子体化学气相沉积法在经研磨处理后的Si(111)面上制备出了纳米非晶碳薄膜.为改善薄膜的场发射性能,在研磨好的Si基底上运用直流磁控溅射法沉积了一层金属过渡层.本文分别选择三种常见金属:钛(Ti)、鉬(Mo)、镍(Ni)来作对比试验.结果发现用钛作为过渡层时薄膜场发射效果最好,主要表现为开启电场低,同一电场下发射电流大,发射点密度较大且分布均匀等.利用迭代法计算了钛作为过渡层时制备的纳米非晶碳薄膜的有效发射面积和功函数.

关键词：非晶碳薄膜、过渡层、场发射、功函数

所属期刊栏目：37

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：教育部科学技术研究重点项目250091;郑州航空工业管理学院青年基金项目Q07L067

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：942-945