氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响

摘要：

本文采用微波氧等离子体刻蚀硬质合金基体表面,再利用热的浓碱溶液清除硬质合金表面所形成的氧化物,通过扫描电镜(SEM)观察了试样表面情况,并通过X射线能谱(EDAX)分析了硬质合金表面各成分变化情况.经过预处理的试样采用热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜,对所沉积出的金刚石薄膜采用SEM观察及压痕测试,发现经过氧等离子体处理的金刚石刀具较两步酸蚀法处理过的金刚石薄膜涂层,其附着性能有较大提高.

关键词：氧等离子体、金刚石薄膜、硬质合金刀具、附着性能

所属期刊栏目：37

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：湖北省科技攻关计划2002AA105A02;湖北省教育厅2004年创新团队项目

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：689-693,698