用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnO/Al背反射电极

摘要：

本文首先在低温(140℃)和低功率下采用Zn:Al合金靶直流反应磁控溅射法研制ZnO:A1透明导电膜.然后在单结(glass/SnO2/pin/)或双结(glass/SnO2/pin/pin/)非晶硅电池上沉积约70～lOOnm厚的ZnO透明导电膜,最后再用电阻蒸发法沉积Al电极.实验获得了较好的n+/ZnO界面,实现了ZnO/Al背电极的增反作用,使电池的短路电流增加1～3mA/cm2,光电转化效率提高1～3%(绝对效率),小面积电池效率达到9.5%.

关键词：非晶硅电池、ZnO/AI复合背电极、背反射、短路电流、转换效率

所属期刊栏目：36

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：天津市科技发展基金06YFGZGX02100;国家重点基础研究发展计划973计划2006CB202602;2006CB202603

在线出版日期：2008-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1283-1287