10.3969/j.issn.1000-985X.2007.06.017
用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnO/Al背反射电极
本文首先在低温(140℃)和低功率下采用Zn:Al合金靶直流反应磁控溅射法研制ZnO:A1透明导电膜.然后在单结(glass/SnO2/pin/)或双结(glass/SnO2/pin/pin/)非晶硅电池上沉积约70~lOOnm厚的ZnO透明导电膜,最后再用电阻蒸发法沉积Al电极.实验获得了较好的n+/ZnO界面,实现了ZnO/Al背电极的增反作用,使电池的短路电流增加1~3mA/cm2,光电转化效率提高1~3%(绝对效率),小面积电池效率达到9.5%.
非晶硅电池、ZnO/AI复合背电极、背反射、短路电流、转换效率
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O484(固体物理学)
天津市科技发展基金06YFGZGX02100;国家重点基础研究发展计划973计划2006CB202602;2006CB202603
2008-05-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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