脉冲重复频率对脉冲激光沉积薄膜的生长过程的影响

摘要：

脉冲重复频率在脉冲激光沉积技术中起重要的作用,影响最终的薄膜材料的性能.利用动力学蒙特卡罗方法,我们研究了脉冲激光沉积技术中,在不同脉冲重复频率条件下的薄膜生长的初期阶段.模拟结果显示,在低脉冲频率时,前后脉冲之间的间隔时间较长,生长岛有足够的时间熟化.因此,生长岛的密度会比较小且岛的形貌比较规则.而当脉冲重复频率增大时,岛的密度则随之增加,岛呈现出松散的或者枝杈状的形貌.另外,脉冲占空比也就是沉积时间在一定程度上也会对岛的凝聚过程有影响.最后我们将模拟结果与实验结果进行了对比和讨论.

关键词：脉冲激光沉积、动力学蒙特卡罗方法、薄膜生长

所属期刊栏目：36

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：the National Scienctist Fund f~ Youth Science of China10604017

在线出版日期：2008-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1148-1154