金刚石膜/硅基体热残余应力场有限元分析

摘要：

运用ANSYS软件建立了有限元模型,对化学气相沉积在硅基体上的金刚石膜内部和膜/基交界面处的各热残余应力分量的分布作了计算与分析.所建模型与已有的一维解析模型都能得出厚度截面上的法向应力分量的分布,且吻合较好,而前者的优点在于它还能模拟切向应力和剪应力等其它应力分量,这对分析膜/基界面的粘附与失效是至关重要的.

关键词：金刚石膜、硅基体、热残余应力、有限元方法

所属期刊栏目：36

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：西南交通大学校科研和教改项目

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：377-380