衬底温度对PLD方法制备的ZnO薄膜的光学和电学特性的影响

摘要：

利用脉冲激光沉积法(PLD)在c面蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜并对其进行了X射线衍射(XRD)、反射式高能电子衍射(RHEED)、光致发光(PL)谱和霍尔(Hall)测试.RHEED和XRD分析表明,温度在350℃至550℃之间时,ZnO薄膜的结晶质量随着衬底温度的升高而提高,当衬底温度进一步升高后,ZnO薄膜的结晶质量开始下降.四个样品中,衬底温度为550℃的样品具有最清晰的规则点状RHEED图像和半高宽最窄的(0002)衍射峰.PL谱和Hall测量的结果表明,衬底温度为550℃的样品还具有最好的发光性质和最大的霍尔迁移率.

关键词：ZnO薄膜、脉冲激光沉积、衬底温度

所属期刊栏目：36

分类号：O78(晶体生长)

资助基金：国家自然科学基金50532080;辽宁省科技计划20022133

在线出版日期：2007-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：129-133