5英寸钽酸锂晶体生长工艺技术研究

摘要：

本文着重介绍了用铱坩埚提拉法生长φ5英寸钽酸锂(LT)晶体的工艺过程,该工艺使用超大尺寸铱坩埚生长LT晶体;设计了稳定并可调节纵向及径向温度梯度的温场;采用了大量程、高灵敏度的上称重技术;运用逆向模拟法的模拟体设计.这些技术的集成,是φ5英寸晶体生长成功的必要保证.

关键词：φ5英寸钽酸锂、上称重、铱坩埚

所属期刊栏目：35

分类号：O78(晶体生长)

资助基金：江苏省技术开发专题项目资金BE2002518

在线出版日期：2007-01-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1388-1391