电子束蒸发制备ZnO:Al透明导电膜及其性能研究

摘要：

在本实验中我们利用电子束蒸发方法在玻璃衬底上制备了ZnO:Al透明导电膜,并对所得样品在400℃下进行了退火处理.利用扫描电子显微镜观察了样品的表面形貌,利用分光光度计分析了样品的光学性质,结果表明所得样品在可见光范围具有较好的透光性.利用四探针对其进行了电学性质的测量,表明衬底温度为200℃时制备的样品电阻率可达6×10-3Ω·cm.

关键词：电子束蒸发、ZnO:Al薄膜、衬底温度

所属期刊栏目：35

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2007-01-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1355-1358,1367