溅射气压对镍铁氧化物催化薄膜在碱性溶液中析氧特性影响的研究

摘要：

采用对靶直流磁控溅射设备制备镍铁氧化物催化薄膜,研究了溅射气压与催化薄膜的结构、表面形貌、过电位、电阻率及生长速率之间的关系.实验结果显示在溅射气压从0.5Pa到4.0Pa的范围内变化时,随溅射气压升高,材料晶化率降低,生长速率下降,过电位和电阻率都是先减小再增大;对用不同铁含量的镍铁合金靶制备的催化薄膜的极化特性比较发现,靶材中铁的含量越多过电位越小.

关键词：镍铁氧化物、对靶磁控溅射、溅射气压、过电位

所属期刊栏目：35

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2007-01-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1301-1306