半导体薄膜材料外延生长的蒙特卡罗模拟

摘要：

半导体自组织生长量子点是一种新型半导体材料,它在纳米电子学、光电子学和生命科学中有广泛的应用前景,本文讨论了计算机模拟量子点的生长在材料设计中的重要意义,建立动力学蒙特卡罗二维模型, 通过获得的原子沉积的表面图样和对原子簇大小分布的数学统计,得到提高生长温度或者降低沉积速率等量子点外延生长的优化条件.

关键词：蒙特卡罗模拟、外延生长、薄膜材料

所属期刊栏目：35

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2003CB314901;国家高技术研究发展计划863计划2003AA311070

在线出版日期：2007-01-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1272-1276