化学溶液分解法制备Sm0.5Bi3.5Ti3O12铁电薄膜

摘要：

采用化学溶液分解法(CSD)在Si衬底上制备了Sm0.5Bi3.5Ti3O12 (SmBT0.5)薄膜.用X射线衍射技术分析了薄膜的结构和结晶性,用原子力显微镜描述了薄膜的表面形貌;并研究了薄膜的存储性以及介电性能.结果表明,在700℃下退火1h得到了结晶性较好,表面致密的多晶薄膜.该薄膜显示了良好铁电和介电性能.

关键词：化学溶液分解法、SmBT0.5、铁电薄膜

所属期刊栏目：35

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2007-01-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1265-1267