反向流动垂直喷淋式MOCVD反应器设计与数值模拟

摘要：

本文分析了现有的MOCVD反应器存在的不足,提出了一种新型的反向流动垂直喷淋式反应器:反应气体从基片上方的许多平行小喷管喷入反应区,反应后的尾气又从基片上方出口排出,从而减少了反应物浓度沿衬底径向的不均匀性.通过对反应器进行三维数值模拟,改变喷管的中心距、喷管端与衬底的距离、流量、气体压强等参数,确定了反应室内衬底上方温度场与浓度场为最佳时的参数组合.

关键词：反向流动、MOCVD、反应器设计、数值模拟

所属期刊栏目：34

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：中国科学院资助项目60376006

在线出版日期：2006-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1059-1064