本征微晶硅薄膜和微晶硅电池的制备及其特性研究

摘要：

本文对VHF-PECVD制备的本征微晶硅薄膜和电池进行了电学特性和结构特性方面的测试分析研究.电学测试结果给出制备薄膜的激活能为0.51eV,符合电池对材料的电学参数要求;拉曼散射谱测试结果计算得到样品的晶化率为63%;X射线衍射结果也证明材料晶化,同时(220)方向择优;首次在国内用VHF-PECVD方法制备出效率为5%的微晶硅电池(Jsc=21mA/cm2,Voc=0.46V,FF=51%,Area=0.253cm2).

关键词：甚高频等离子体增强化学气相沉积、微晶硅、太阳电池

所属期刊栏目：34

分类号：TK514(特殊热能及其机械)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G2000028202,G200028203;教育部科学技术研究项目02167;国家高技术研究发展计划863计划2002303261

在线出版日期：2005-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：297-300