单晶炉真空密闭性能的检验技术

摘要：

单晶炉炉室真空密闭性能是衡量单晶炉设备性能好坏的重要因素.本文主要介绍的是在制造单晶炉炉室和屯装配调试过程中,采用不同的工艺循序渐进地对单晶炉真空密闭性能进行检验,从而提高单晶炉设备的性能.

关键词：单晶炉、真空、检漏

所属期刊栏目：34

分类号：TP20(自动化技术及设备)

在线出版日期：2005-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：190-192