湿氧钝化CdSe(110)表面的XPS分析

摘要：

用双氧水对CdSe单晶(110)表面进行钝化,采用X射线光电子能谱(XPS)分析了湿氧处理的CdSe(110)表面的化学特征.通过两次不同分析模式FAT(固定通能)和FRR(固定减速比)所得到的结果表明:CdSe表面出现Se偏析,表面上形成了SeOx(x＜1),SeO、Cd(OH)2和CdCO3的高电阻稳定氧化层,消除了器件表面态,可以减少器件的表面漏电流和改善其信噪比.

关键词：CdSe单晶体、表面钝化、XPS

所属期刊栏目：33

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AAA325010;四川省学术与技术带头人培养基金

在线出版日期：2004-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：164-167