常温下脉冲激光沉积氮化硼薄膜研究

摘要：

由于氮化硼特别是立方氮化硼(c-BN)的独特性质和广泛的应用前景,一直受到材料研究工作者的广泛关注.本研究利用脉冲激光在室温下沉积出立方氮化硼薄膜,傅立叶变换红外光谱和X射线衍射分析表明在所制备的氮化硼薄膜中,立方相的含量很高;同时,该研究还观察到了氮化硼的另一种高压相-爆炸结构氮化硼(Explosive-BN,E-BN).本研究同时还讨论了氮化硼薄膜生长的原理.

关键词：脉冲激光沉积、室温、立方氮化硼、爆炸结构氮化硼

所属期刊栏目：31

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金50072022;湖南省教育厅科研项目01C061

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：436-439