高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究

摘要：

本文以化学机械抛光为手段,以原子力显微镜(AFM)为工具,对高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光进行研究.既观察到了由传统光学表面向超光滑表面过渡的过程,又观察到了超光滑表面加工的结果-表面的本征化.显示了超光滑表面抛光对外延衬底表面的重要性.

关键词：铝酸镧单晶、高温超导、衬底材料、超光滑表面抛光

所属期刊栏目：31

分类号：O786(晶体生长)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：121-123