高质量CVD金刚石膜的氧化损伤

摘要：

高质量CVD金刚石膜的高温损伤的研究是其高温应用的基础。抛光的金刚石膜经780℃保温3min后，红外透过和可见光的透过率开始下降；780℃保温15min后，其红外透过和可见光的透过率严重受损。扫描电镜、原子力学显微镜及台阶仪的结果表明：CVD金刚石膜氧化的开始阶段主要集中在晶界、表面孔洞等缺陷处，随后导致金刚石膜的晶面也开始刻蚀，表面粗糙度增大，最终使得金刚石膜丧失红外和可见光的透过。

关键词：金刚石膜、氧化、红外透过率、显微组织

所属期刊栏目：30

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：167-170