HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响

摘要：

本文测量HFCVD生长的金刚石膜的红外透射率.结果表明,膜中的缺陷、杂质和非金刚石相在透射谱中产生吸收带;膜表面的粗糙度和组织形貌对透射率有较大的影响.形核表面面对红外光源时,由于减少表面散射而透射率较高;定向或高取向膜的透射率高于混杂取向膜的透射率,表明晶格取向和晶界分布影响膜的透射性能.

关键词：金刚石膜、热丝化学气相沉积、红外透射率、晶体形貌

所属期刊栏目：29

分类号：TQ164

资助基金：中国科学院资助项目59292800;辽宁省科技厅资助项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：390-393