大直径直拉硅单晶炉热场的改造及数值模拟

摘要：

为了降低大直径硅单晶生长过程中氧的引入,对常规的406mm(16英寸)热场进行了改造.设计了以矮加热器为核心的复合式加热器系统,使晶体生长过程中熔体热对流减小.通过对热场的数值模拟计算,分析了热场的温度分布,发现熔体的纵向温度梯度下降,熔体热对流减小,硅单晶中氧含量降低.

关键词：直拉硅单晶、热场、加热器、热对流、氧含量、数值模拟

所属期刊栏目：29

分类号：O78(晶体生长)

资助基金：中国科学院资助项目69876011

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：381-385