一种估算热导率的方法

摘要：

径向热导率是金刚石膜应用中的一项主要技术指标.本文介绍了一种通过热导率和X衍射晶面图间相关性估算直流电弧等离子体喷射化学气相沉积金刚石膜径向热导率的方法.该方法需满足的条件为(111)为主的三向系中(220)和(311)的CPS值分别是23～33%和8～15%,或者是在四取向膜中要求(400)的CPS值低于5%.估算值的最大偏差为-9.5%和3.5%.当(220)的CPS值高时或(311)的CPS值低时,估算值比测量值高,反之亦然.

关键词：金刚石膜、晶体取向、X射线晶体衍射谱、热导率

所属期刊栏目：29

分类号：O736;O484(晶体物理)

资助基金：河北省自然科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：296-299