HFCVD法沉积金刚石薄膜中热丝优化方法

摘要：

本文探讨了在HFCVD(hot filament chemical vapor deposition)沉积金刚石薄膜中热丝数量、位置等几何参数对温度场和辐射场的影响.利用系统热传递模型和计算机辅助的数值解方法得到了该方法沉积大面积金刚石薄膜中衬底表面温度分布和热辐射能量密度分布.发现金刚石薄膜的均匀性受热辐射能量密度分布影响较大.进一步给出了沉积面积为100mm×100mm的金刚石薄膜的最佳参数.

关键词：金刚石薄膜、CVD、热丝

所属期刊栏目：29

分类号：O781(晶体生长)

资助基金：北京市自然科学基金2992002;北京市科技新星计划项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：269-274