结晶β-C3N4薄膜的制备和特性研究

摘要：

用电子回旋共振等离子体化学汽相沉积(ECR CVD)法, 在单晶硅(100)衬底上沉积生长出了具有{221}结构特性的连续的结晶态β-C3N4薄膜.使用扫描电镜(SEM)观测了沉积薄膜的形态;采用X射线光电子光谱(XPS),X射线衍射(XRD)和拉曼散射表征薄膜的结构.研究表明,沉积结晶态β- C3N4薄膜具有{221}结构特性.

关键词：β-C3N4薄膜、化学汽相沉积、电子回旋共振等离子体、薄膜结构

所属期刊栏目：29

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：中国科学院资助项目69876003;北京市自然科学基金2982013

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：224-228