10.3969/j.issn.1000-985X.1998.02.006
CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究
本文介绍了压电薄膜检测的激光超声系统对CVD金刚石膜声速测量的原理及方法.利用反射回波法对二块金刚石膜试样的纵波声速的测量结果为(2.010±0.014)×104m/s,证实了CVD金刚石膜的高声速特性.
金刚石膜、压电薄膜、激光超声、化学气相沉积
27
O7(晶体学)
中国科学院资助项目
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
132-136
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10.3969/j.issn.1000-985X.1998.02.006
金刚石膜、压电薄膜、激光超声、化学气相沉积
27
O7(晶体学)
中国科学院资助项目
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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