金刚石薄膜低压气相生长条件的理论预测

摘要：

基于非平衡热力学耦合模型计算得到三元体系中生长金刚石的等温、等压及竖直截面相图.这些相图中的金刚石生长区的形状和大小随温度、压力及氧含量等条件的改变而变化.高温时,金刚石生长区变小直至消失;中等温度时生长区最大;低温时又变小.压力的升高促使金刚石生长区变大.氧的加入总是引起需要更多的碳并使金刚石生长区向温度降低的方向移动.

关键词：金刚石薄膜、相图、化学气相淀积、生长条件

所属期刊栏目：27

分类号：O7(晶体学)

资助基金：中国科学院资助项目;新材料领域项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：109-113