一种小量程风速风向传感器的设计

摘要：

设计了一种基于微机械加工技术的风速风向传感器,传感器由四个相互正交的电容器构成,每个电容器包括可动极板和固定极板,此结构将风速和风向信息转换为可动极板的位移,通过测量四个电容器的电容来检测风速和风向.基于流体力学原理对传感器进行了分析,理论计算了传感器的输出电容和风速风向之间的变化关系,为传感器设计了一套基于MEMS的加工工艺流程.

关键词：风速风向、MEMS、微机械、电容

所属期刊栏目：26

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2009-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4