无镍201不锈钢表面溅射钛膜的沉积厚度与耐蚀性

摘要：

采用常温直流磁控溅射法在廉价201无镍不锈钢表面沉积了纯钛薄膜。通过SEM分析了201上钛膜的沉积厚度受沉积条件的影响，也探讨了工艺参数对薄膜沉积量的影响。应用动电位扫描极化曲线测试评估钛膜的耐腐蚀性，据此采用均匀试验设计法优化了钛膜的溅射工艺参数。采用DPS数据处理系统对均匀试验数据进行二次多项式逐步回归分析，发现溅射功率对钛膜耐蚀性的影响可以表述为开口向上的抛物线关系，并获得了膜耐蚀性的优化工艺条件。进一步讨论了沉积膜厚对覆钛不锈钢耐腐蚀性的影响。

关键词：无镍201不锈钢、磁控溅射、钛膜、沉积量、均匀设计、耐腐蚀性、DPS数据处理系统

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：四川省科技支撑计划2008GZ0188。

在线出版日期：2013-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：58-63