精密透镜系统的模型预测热控方法

摘要：

针对半导体光刻领域的超高精度热控需求，提出一种基于模型预测的热控方法。生成透镜系统的阶跃和伪随机热扰动输入信号。采用高精度测温系统测量透镜系统的温度响应数据，运用模型辨识方法获得透镜系统的热响应模型。通过滚动优化策略推导模型预测热控制律，并建立精密透镜系统的热控实验平台。热控实验结果表明，该热控方法具有收敛速度快、抗干扰能力强、精度高的优点，温控误差可控制在±8 mK内。热相差测试结果表明，该控制方法可抑制透镜系统的焦面漂移，适合应用在对温控精度要求较高的装备领域。

关键词：光学设计、模型辨识、模型预测控制、精密透镜系统

所属期刊栏目：59

分类号：TP212;TH811;TU832.27

在线出版日期：2022-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：1722006